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長三角攜手突破!國際首創8英寸VB法氧化鎵晶體制備技術

   發布時間:2025-12-29 03:01 作者:胡穎

在第四代半導體材料領域,一項突破性成果引發關注。中國科學院上海光機所聯合杭州富加鎵業科技有限公司,在國際上首次運用垂直布里奇曼法(VB法)成功制備出8英寸氧化鎵晶體。這一成果得益于上海市科委第四代半導體戰略前沿專項的支持。

氧化鎵作為第四代半導體的代表性材料,具備禁帶寬度大、擊穿場強高的特性,在超高壓功率器件領域有著不可替代的重要應用價值。上海光機所是國內較早投身氧化鎵晶體研究的科研單位,在VB法研究方面,與富加鎵業緊密合作,大力提升關鍵裝備制造、高精度模擬仿真、確定性熱場設計這三大核心技術。

回顧過往,該研究團隊成果斐然。2024年7月,在國內率先實現3英寸氧化鎵晶體制備;同年12月,成功制備出4英寸晶體;2025年9月,再次取得突破,在國內首次實現6英寸晶體制備;直至2025年12月,刷新了國際VB法制備氧化鎵晶體的最大尺寸紀錄。

與其他制備方法相比,VB法在氧化鎵晶體制備方面優勢顯著。其生長過程無需使用銥金,大幅降低了生長成本;溫度場均勻、溫度梯度小,更有利于生長出大尺寸、高質量的氧化鎵晶體;能夠生長柱狀晶體,有效提高了材料制備效率;而且生長過程穩定,非常適合自動化、規模化生產,是實現大規模產業化的理想路徑。

目前,上海光機所與富加鎵業正攜手下游用戶,加快開展器件端對材料端的應用驗證工作,持續優化氧化鎵材料及器件性能,全力推動氧化鎵產業化應用進程。

 
 
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